通过热化学氮化方法制得的改性的氮化铝/蓝宝石基板的表面的形态
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年2月27日
- 作者：Cloudy
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在蓝宝石衬底上进行了直径50.8毫米与晶体取向和3-9的偏差角“的研究，在衬底表面进行化学机械抛光。基材退火
在1450 °С 。用于降低退火那里被用于氩气、一氧化碳、氢气气体（ 0.1 - 0.12MPa，氩气和氮气的浓度分别为〜 99vol ％，〜0.1 - 0.4vol ％）的混合物。氮化实现了在氮气中、一氧化碳、氢气气体（ 0.1 - 0.12MPa ， 〜 N2的99vol ％浓度的混合物。
表面形貌的影响在原子力显微镜求解47临（ NT-MDT ）在接触模式。经过化学机械抛光衬底的初始表面具有表面台阶和步骤，本步骤的宽度30和140nm的范围之间。这样的纳米结构外行可以在倾斜的低角度晶面形成的极为光滑的蓝宝石表面，粗糙度为0.2 - 0.4奈米。
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