氮化镓基在蓝宝石基板厚度上LED性能的影响
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年2月27日
- 作者：Cloudy
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准备在蓝宝石基板上具有不同厚度的氮化镓基发光二极管（LED）被制备并表征。通过减薄蓝宝石基板至50μm，人
们发现，我们就可以实现高电流注入下一个较大的输出功率，而不增加工作电压。寿命试验也表明，在制备薄蓝宝石基板的LED是更可靠。
在异质外延生长的过程中，如果生长膜的晶格常数不同于基板，晶片表面弓，无论的晶格失配是否发生。如在大型晶片的生长加快，弯曲效应变得越来越重要。晶圆弯曲对产量的现代大规模生产化合物半导体产业有直接影响。通过使用有限元分析软件，在氮化镓晶片的蓝宝石衬底上的弯曲变形进行研究。本文总结鞠躬变形的原因，建立了数学模型，并推导出晶圆弯曲的关系式。结果表明，外延晶片弯曲具有与衬底的直径的平方成线性关系，但与该基板的厚度的关系不大。此外，晶圆弯曲的关系式也被简化终于。
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