在使用拉曼光谱对蓝宝石衬底硅薄膜测定现有的压力
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年2月10日
- 作者：Cloudy
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拉曼光谱是用来确定在蓝宝石上硅（SOS）设备内置的应力。该方法是直接的，非破坏性的，并且可以在各种温度
下被应用。对于在蓝宝石衬底上外延硅膜的内置的7.0 ±0.3千巴的压力在室温和8.7 ±0.3千巴在液氮温度下测定。
低温生长的氮化镓 （LT- 氮化镓）的在硅衬底通过使用两步生长法的热退火的效果。当LT-氮化镓薄膜进行退火达1050℃对硅衬底的温度遇到困难;然而，在低温氮化镓在蓝宝石是相同的退火条件后保持稳定。观察LT-氮化镓构成的分解和波状表面。因此，在硅LT-氮化镓构成的热稳定性比在蓝宝石下部。为了改善这种低的热稳定性，在硅低温氮化镓涂用中温生长的氮化镓（MT- 氮化镓）的。然而，肿胀，观察表面上的退火至1050℃的温度后，并有空洞，这表明硅的腐蚀发生以下硅的熔点的温度下，肿胀。能量色散X射线（EDX）分析表明，在肿胀检测大量的镓。镓是负责硅衬底和可能的原因为空洞的形成是硅由佐治亚州的回熔蚀刻的腐蚀。
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