线位错的可能来源：氮化镓薄膜在蓝宝石上生长缺陷
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年2月08日
- 作者：Cloudy
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单晶氮化镓薄膜具有纤锌矿结构的生长在蓝宝石基底面。一种高密度的穿透位错平行于c轴穿过了薄膜从界面到膜表
面。他们发现有一个S0884291400022664_inline1 Burgers矢量一个主要地缘特征。此外，位错HAL-回路，沿着氮化镓构成的c轴拉长，也发现了在棱镜平面。这些位错有一个螺丝大多性格与柏氏矢量。被发现与S0884291400022664_inline2的高度衬底表面的步骤，以由氮化镓构成局部弹性弯曲的氮化镓面的膜/基体界面附近被容纳。观察结果表明，该膜的区域，其厚度为100 nm，相邻的界面是非常有缺陷的。该区域被认为是对应于低温氮化镓“缓冲”，这是最初生长在蓝宝石衬底上层。基于实验观察，提出了一种模型，在膜中的大部分穿透位错的形成。结果的分析使我们得出结论，这个薄膜是根据残留的双轴压缩。
热应变由于在氮化镓/α-氧化铝层状结构的热膨胀系数差的应力，通过改变氮化镓构成的膜厚为0.6〜1200微米的研究。在氮化镓上的应变大于在小于几微米的厚度的膜。它是在厚度的薄膜，从几个到约一百微米的下降，并且是几乎完全放松在那些厚度大于100微米。在该异质结构中的应力和应变是使用在其松弛，由于在蓝宝石开裂被认为是一种模型计算。热应变的三个松弛机制被找到的不同膜厚度如下：（B）增强界面的缺陷，如“微裂纹”和/或位错（ 4-20微米）的（a）仅晶格变形（<4微米）及（c ）代蓝宝石“宏观裂纹”（ > 20微米）的。
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