生长在图案和未图案化蓝宝石衬底的氮化镓外延层之间的特性比较
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月29日
- 作者：Cloudy
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氮化镓外延层生长在透镜形图案的蓝宝石衬底（PSS）和未图案化蓝宝石基板（UPSS ）通过金属有机化学气相沉
积（MOCVD） 。所生长的氮化镓外延层上的PSS和UPSS的品质进行了比较。使用双晶X射线衍射（DCXRD） ，原子力显微镜（AFM） ，扫描电子显微镜（SEM）和光致发光（PL）的结构特点，表面形貌和氮化镓外延层的光学性能进行了研究。被形成在蓝宝石衬底上的透镜形状的图案，以减少穿透位错（TD）的密度，同时也提高了在透镜的内部反射的光发射效率。 SEM图像显示出的氮化镓外延层的生长在不同的时间。充分聚结，在80分钟的生长时间观察。
它是从DCXRD摇摆光谱看出，在氮化镓半最大值（FWHM）上生长的PSS的全宽为438.7弧秒，小于UPSS值。半峰全宽的值较低表明在氮化镓的结晶品质的外延层上生长的PSS相比于UPSS的氮化镓生长的提高。它可以清楚地看到从AFM图像，该位错密度少，生长在PSS在氮化镓。研究结果显示，生长在PSS相比UPSS氮化镓一个强大和尖锐的发光带边发射。观察到的氮化镓生长在其中并没有出现PSS UPSS缺陷相关的黄色荧光。半高宽在364.3 nm的峰位被评估为从PL谱的氮化镓50.7兆电子伏生长在PSS。上述结果表明氮化镓外延层可以生长在PSS低的TD密度将是光发射有用。
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