在蓝宝石衬底上氧化锌薄膜的压电性能沉积的射频磁控模式ECR溅射系统
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月29日
- 作者：Cloudy
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相对于传统的磁控溅射系统，电子回旋共振（ECR）溅射系统的特征是在低气体压力。R面取向的外延氧化锌薄膜
是用沉积的R-平面蓝宝石衬底上，以产生高密度等离子体的能力射频磁控管模式的ECR溅射设备。作为测量的结果，该薄膜显示出良好的取向和优良的有效机电耦合系数（Keff值）为瑞利表面声波（SAW）和它的高次声波波。这些耦合因子为大于等于利用有限元方法使用单晶材料常数（FEM）分析的Keff得到的理论值高。
锑同质结发光二极管是由金属有机物化学气相沉积（MOCVD ）制作在c面蓝宝石。 p型氧化锌层与空穴浓度1.27 × 1017使用三甲基锑（TMSB）作为锑掺杂源cm-3的制作。器件的电流 - 电压特性表现出与3.3 V.鲜明的电致发光的紫外线和可见光的排放从该设备在正向偏压下在室温下检测到的导通电压所希望的整流行为。此外，金属有机源TMSB是一种有效的和可控制的掺杂剂中的金属有机化学气相沉积技术，该技术是适合于进一步的工业化生产。
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