氮化镓薄膜沉积在蓝宝石衬底的物理性质的比较

 
 

氮化镓薄膜的物理性能的直接比较是由作为基体取向的选择的功能。氮化镓单晶通过金属有机化学气相沉积生长在蓝宝石衬底蓝宝石衬底上。获得在蓝宝石更好的结晶度与细方面。同时,低载流子浓度和迁移率越高表明两者较低的氮空位,少氧结合的蓝宝石。本研究的结果表明,实现了在蓝宝石上的氮化镓薄膜的较好的物理性能。

氮化镓层生长在C- , A- , R-和M-面蓝宝石衬底上气态源分子束外延(MBE ) 。氮化镓的c轴垂直于表面平面和光致发光光谱显示出强而尖锐的(全宽半高≤ 39毫电子伏特在77 K )激子发射没有适用于所有情况的深能级发射。生长在石英玻璃衬底的氮化镓层也具有c轴垂直于表面,尽管它们是多晶。它们表现出n-型导电带的7× 10-16厘米3和流动性的23平方厘米/ V ·s的电子浓度。他们还表现出强烈的光致发光媲美的氮化镓生长在蓝宝石衬底上,虽然呈现出很宽的光谱半宽( 245兆电子伏在77 K ) 。生长在玻璃衬底上的氮化镓层被认为是有前途的大面积和低成本的发光器件和太阳能电池的制造。


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