在蓝宝石衬底上高品质的铌酸锂薄膜的脉冲激光沉积
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月28日
- 作者：Cloudy
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高质量的铌酸锂薄膜是由脉冲激光沉积法沉积到R-切割蓝宝石衬底（α- Al2O3）的。以稳定的单相铌酸锂，相对高
的氧气分压是必要的。这些膜制造在1乇的氧气压力的X-射线衍射的结果，显示出从铌酸锂只峰。氧分压或增加的环境气体中的氩气的降低导致形成中介相。衬底温度高于650℃，未对薄膜质量有显著作用。上下的多种腔室压力的淀积薄膜的光学测量表明折射2.28的指数，对应于散装铌酸锂的理想值。
已经形成外延铌酸锂薄膜在蓝宝石基板上，并使用激光消融技术。我们已经制作表面声波（ SAW）滤波器上的薄膜和评价声表面波性能。它表明，该铌酸锂晶体薄膜的蓝宝石衬底是因为它们的传播速度高（ 5300 - 5600米/秒）的候选者的高频SAW滤波器。
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