缓冲层上的高质量的单晶氮化镓组成比蓝宝石衬底上沉积的影响
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月24日
- 作者：Cloudy
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最近几个研究小组都报道了极高品质的单晶氮化镓层在蓝宝石衬底上沉积，一键使其获得高质量的是使用蓝宝石衬
底和生长膜之间的薄的氮化铝或者氮化镓缓冲层的。在这种通信中，我们讨论了结晶度和缓冲层中控制结晶的，光学的，和在氮化镓沉积的电性能的影响。我们还比较了使用氮化镓和氮化铝的作为缓冲层的材料。我们的结果表明，该缓冲层的厚度和膜的总厚度是关键因素，控制所述的氮化镓沉积过蓝宝石基片的电学，光学和结晶性质。
在蓝宝石衬底掺杂氮化镓外延层的表面变形，研究了尖锐的钻石（的Berkovich三角锥）的纳米压痕和5微米半径的球放倒钻石。我们发现了一个“弹出式”的所有样品的荷载 - 位移曲线的负荷下部分，而平均剪切应力是依赖于膜厚度。我们还计算出在蓝宝石衬底“真硬度” 氮化镓构成，并用InGaN构成蓝宝石上的结果进行比较。
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