微透镜上图案化蓝宝石基板的氮化镓基发光二极管
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月23日
- 作者：Cloudy
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基于氮化镓的发光二极管（LED）被制作在一个微透镜图案化蓝宝石基板（ ML- PSS）。在蓝宝石基板上形成图案
ML进行通过使用光刻与光致抗蚀剂回流法和干法蚀刻过程中使用氯基于电感耦合等离子体。对ML- PSS被使用周期性ML图案的直径为3微米，间距为2、4和5微米，分别在c面蓝宝石基板上制备。制作在ML- PSS LED的泄漏电流大大减少相比，常规的LED的，它随ML-图案的间距减小;它从1.8至0.2 μA减小为15 V作为ML-图案间距的反向电压从2增加到5微米。LED用5微米的间距的输出功率比常规的LED更高的大约155％，并比在LED上为2μm间距的PSS的高约10％。这种改进的输出功率不仅是由依赖于图案形成的间距减少位错密度，而且还通过与输出耦合通过在蓝宝石衬底上的图案化的ML刻面的光提取效率的提高作出了贡献。
描述的氮化镓基上形成一个蓝宝石基板（NPSS ）通过与用作掩模750纳米的直径的氧化硅纳米球的自组装单分子层进行蚀刻制得的发光二极管（LED）的改进的输出功率。NPSS LED的输出功率比之在一个平面蓝宝石衬底的LED更高的76％。三维有限差分时域计算预测的NPSS LED的光提取效率为40％的提高。此外，全宽的半最大值的ω扫描摇摆曲线的氮化镓上NPSS平面的减少表明改进的晶体质量。
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