异质外延生长和应变对氮化镓薄膜对蓝宝石衬底的发光性能的影响
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月20日
- 作者：Cloudy
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生长在蓝宝石衬底上的氮化镓薄膜的特征在于X-射线邦德的方法和低温光致发光测量。在氮化镓薄膜被发现由双轴
压应力被拉伤。由测得的应变和PL峰值能量，氮化镓（平行于c轴和带隙能量的应变之间的关系）的变形电位的移位被发现是12伏特。此压缩应力的来源进行了讨论。
氮化铝的蓝宝石衬底金属有机物化学气相沉积（MOCVD）生长情况，与设备质量的氮化铝/氮化镓/氮化铝双异质结构的目的。生长温度高达1300 ℃下需要获得的氮化铝外延层具有尖锐的X射线衍射峰。通过生长AlN的生长温度较高，残余应力在异质得到有效降低。表面光滑的氮化铝外延层使用低V / III比一起高生长温度生长。氮化铝/氮化镓/氮化铝双异质结构与相应的层厚度为DH激光器和平面异质界面生长在蓝宝石衬底上。
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