蓝宝石衬底的轻微取向差对氮化镓金属有机化学气相沉积生长的影响
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月16日
- 作者：Cloudy
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轻微的取向差，从C面蓝宝石（α - Al2O3）的氮化镓表面形貌和电致发光底物的影响（ EL）的性能进行了研究。用
下通过有机金属化学气相沉积（MOCVD）大气压的两步生长法在氮化镓层生长。当周围使用0.17 °倾斜朝向两个方向的取向错误的蓝宝石衬底，小阶梯型的形态出现。在另一方面，使用C-普通基材或基体错配度比从c面约0.25度较大，出现鳞片状的形态。还发现在衬底的取向差显著影响EL图像的均匀性。另一方面，发光二极管（LED）的光输出功率的制作在衬底上用不同的错误取向几乎相同，尽管在不同的表面形貌。
氮化镓构成上具有氧化硅掩模蓝宝石衬底被证实和特征通过透射电子显微镜和双晶X射线衍射。氮化镓构成的连续层具有低的位错密度是通过这种方法实现的。在氮化镓层的部分被对称地倾斜的朝向的方向和具有两种聚结和倾斜界限。每个边界是由堆积位错用的柏氏矢量垂直阵列形成。在外延倾斜机构设置在氧化硅掩模和ELO氮化镓之间的表面相互作用的角度来讨论。
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