氮化镓薄膜从蓝宝石衬底上无损伤分离
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月14日
- 作者：Cloudy
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生长在蓝宝石衬底上的氮化镓薄膜，成功地分离和使用单38纳秒氟化氪受激准分子激光脉冲通过在能量密度的透明
基板在400〜600 mJ/cm2的范围内定向转移到硅衬底上。通过在氮化镓的248纳米辐射的界面处的吸收引起的界面层迅速热分解，生成金属镓和氮气气体。基板容易被加热至高于30℃的镓的熔点除去扫描电子显微镜和氮化镓膜之前和之后剥离的X-射线衍射表明，该氮化镓薄膜的结构质量不被分离和转移过程中改变。
首次使用氮化镓缓冲层在蓝宝石衬底上，得到高品质的氮化镓薄膜。得到超过2英寸的蓝宝石基片的光学平坦和光滑的表面。霍尔测量上生长有氮化镓缓冲层的氮化镓缓冲层的厚度的函数的氮化镓薄膜进行。用于生长具有200埃，氮化镓缓冲层的氮化镓薄膜的载流子浓度和霍尔迁移率分别为4 × 1016/cm3和600平方厘米/ V ·s的，分别在室温下进行。该值成为8 × 1015/cm3和1500平方厘米/ V· s的77 K，分别。霍尔迁移的这些值是迄今报道的氮化镓薄膜的最高纪录。霍尔测量表明，该氮化镓缓冲层的最佳厚度是大约200埃。
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