在蓝宝石衬底上厚的氮化镓薄膜使用氧化锌缓冲层的生长
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- 分类:蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月14日
- 作者:Cloudy
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溅射的氧化锌膜已被用作在氮化镓的生长缓冲层由氢化VPE 。有了这些缓冲区,我们不仅提高了氮化镓生长的重复性也可单独通过蚀刻缓冲层实现了单晶氮化镓薄膜的制备。
氧化锌薄膜外延在500-800 ℃,衬底温度下成长于c -蓝宝石衬底上用脉冲激光沉积晶氧化锌薄膜的结构遵循氧化锌的外延关系| |氧化铝氧化锌 | |氧化铝。室温和低温光致发光谱显示出显着的带边过渡,并明确激子结构可以看出在低温下。光学折射率,通过改变角度椭圆偏振光谱法测量在375-900毫微米的范围内。仿真进行了使用一个塞耳迈耶尔方程。
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