蓝宝石绒面氧化锌薄膜的化学溶液沉积制作
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月03日
- 作者：Cloudy
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极富质感的氧化锌薄膜的化学溶液沉积产生的基面蓝宝石衬底。薄膜的取向生长均通过旋涂来实现的乙酸锌二水合
物和乙醇胺中的2 - 甲氧一个0.75M的前体溶液，在300 °C/10分钟的加热，然后以500℃ / 5小时，最后在850℃ / 12小时。膜，其特征在于用X-射线衍射（XRD）和扫描透射电子显微镜。该薄膜具有唯一的氧化锌线的X射线衍射图，证明是一个非常发达外的平面纹理。在温度高于700℃的尖晶石ZnAl2O4覆盖层观察，其形成为蓝宝石和氧化锌之间的反应层。一些标本无论是在面内和面外氧化锌对基面的蓝宝石定向生长产生的。据推测，在衬底斜切的，不受控制的当前的实验中，可以是外延膜的生长不频繁的原因。
出现了在高品质的氧化锌薄膜的兴趣增加在应用，例如在高频率的声表面波滤波器，缓冲层为氮化镓生长，透明和导电电极，并且固态激光器不同范围的使用。在本文中，氧化锌薄膜的外延生长温度范围为350-450 ℃，生长在R面蓝宝石衬底金属有机物化学气相沉积X-射线衍射和电子显微镜结果表明，该氧化锌薄膜上外延生长的Al2O3表面与平行于表面的平面。在作为生长膜的横截面高分辨透射电子显微镜成像显示，该接口是半相干与原子锐利，与失配位错减轻氧化锌和蓝宝石之间的失配应变。为了检查作为生长的氧化锌薄膜，退火中的氧气+氮气气氛中的热稳定性，在850 ℃下进行30分钟进行。退火后的薄膜表现出改进的结晶。在同一时间，氧化锌和蓝宝石之间的有限的反应发生，导致了15-20纳米厚的尖晶石层在界面处的形成。
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