控制生长和表面形貌的二氧化硅图案m面蓝宝石衬底米为导向的氮化镓多面域的进化
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月02日
- 作者：Cloudy
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m面向氮化镓刻面畴生长在SiO2上形成图案的m面蓝宝石衬底上，没有低温生长的缓冲层，并且其表面形态演变进
行了研究。氮化镓领域的首选晶体学取向的发现是敏感衬底温度的影响。M-导向的氮化镓多面域沿c方向的增长率被发现填补了圆形窗口区域后，显著抑制。我们的简单模型的计算表明，这可以通过每体积增量表面能量增量的最小化来解释，而沿c方向上的生长，直到域达到临界尺寸被大力不被看好。
氮化镓薄膜是从镓和氨气来源蓝宝石衬底上制备了热壁外延。在氮化镓薄膜生长特性由反射高能电子衍射（RHEED）和X-射线衍射测定进行了研究，并在薄膜生长初始层的影响进行了讨论。高品质的薄膜RHEED条纹图案时，成长于编制嘎预沉积及其表面氮化蓝宝石衬底的氮化氮化镓初始层获得。
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