在1450 ℃下在蓝宝石衬底上的无裂纹的氮化铝模板层由氢化物气相外延制备
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月03日
- 作者：Cloudy
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无裂纹的氮化铝模板层上生长在1450 ℃下使用在1065 ℃下通过氢化物气相外延（ HVPE生长的薄（100nm）的保
护性的氮化铝层蓝宝石衬底） 。全宽度的透视半最大值（FWHM）值的摇摆曲线（ XRCs ）为平面上的氮化铝层的分别为378和580弧秒，分别。观察到在薄保护氮化铝层和加热到1450 ℃，在蓝宝石衬底，由于蓝宝石的分解反应之间的界面上形成空隙空隙放松的拉伸应力在氮化铝层，从而导致裂纹的抑制。
使用一种新型的超高真空传输电子显微镜（TEM ） ，在原位反应的分子束外延系统中，报告当暴露于氨的蓝宝石表面成功地合成外延氮化铝的。在基板电子透明的蓝宝石箔，进行退火处理中氧在高温下，以消除制备过程中引起的损坏，并创建大型原子级平坦的区域。然后将样品在950℃下在流动的氨气在显微镜内的期间内的微观结构的发展周期观察结果2小时保持。我们之前和之后氮化报告直接观察形成氮化铝外延与取向关系的氮化铝/ /次，氮化铝/ /子和现在两个透射电子显微镜和原子力显微镜对样品的图像。结果是用扩散限制反应模型，通过在自由表面和未反应的α -氧化铝之间的生长氮化铝外延层包括氧和氮离子的运输是一致的。
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