异质外延的氧化锌薄膜和离轴射频磁控溅射氧化锌/（镁，锌）纳米多层膜的生长
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月02日
- 作者：Cloudy
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使用离轴射频磁控溅射异质外延氧化锌薄膜沉积在一个蓝宝石衬底上。该氧化锌薄膜的结晶度受到沉积压力，衬底温
度，以及后续退火温度。异质外延氧化锌薄膜生长为650℃，120W，和10m最佳条件下的低温光致发光显示出强烈的紫外线辐射在3.36eV与半高16.0meV的（FWHM）全宽。退火在O2气氛中在950℃后，在高分辨率的x射线衍射摇摆的氧化锌薄膜的曲线FWHM明显从0.38°减小到0.19°虽然紫外线辐射降低。这些结果表明，一个异质外延氧化锌薄膜具有很强的紫外发光可以通过离轴射频溅射生长而有助于提高氧化锌薄膜可以用来作为缓冲层中的氧化锌 /结晶（镁，锌）多量子阱结构。为了证明氧化锌薄膜的应用，用氧化锌/（镁，锌）纳米多层膜生长上的氧化锌缓冲蓝宝石基板，测定其光学性能。
氧化锌薄膜的大气压卤化物气相外延生长在蓝宝石衬底上。双晶X射线衍射研究表明，半高的六角形氧化锌线的最小全宽后1212 S表示存放在1023 K。影片中的室温光致发光光谱显示紫外辐射在381.0纳米，由于重组自由激子。
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