对氧化锌外延片的蓝宝石衬底退火MOCVD生长的影响
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2013年12月27日
- 作者：Cloudy
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蓝宝石衬底上用金属有机物化学气相沉积（MOCVD）外延生长的氧化锌薄膜质量的退火效应进行了研究。通过高温
退火形成在蓝宝石（α-Al2O3）的衬底表面的原子台阶用原子力显微镜（AFM）分析。蓝宝石衬底上的氧化锌薄膜的退火效应通过X-射线衍射（XRD），原子力显微镜和光致发光（PL）的测量进行了研究。实验结果表明，膜质量有显着影响的蓝宝石衬底表面的退火处理。给出了蓝宝石衬底的最佳退火温度。
一个非常薄的氧化锌溅射层被新引入作为中间层，得到外延用CVD法生长在蓝宝石衬底上的氧化锌膜的光滑表面。通过用ZnO-H2-H2O-O2的CVD系统中，氧化锌膜生长在蓝宝石衬底上，而氧化锌薄膜生长在蓝宝石衬底上。作为生长ZnO薄膜的表面十分光滑，光束可以很容易地夫妇和传播到氧化锌薄膜波导。
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