氮化镓晶体具有不同的形态和方向上的石墨和蓝宝石衬底的气相生长

氮化镓晶体氧化镓与流动的氨气反应生长在石墨和蓝宝石衬底在990-1050°C。 氧化镓气体产生以恒定速率(1.3重蓝宝石衬底量%以上-1)由氧化镓与碳反应物在1000至1060年℃。 氨气浓度(3-100%体积)和在氮化镓晶体的形态和取向基板的性质的影响是由扫描电子显微镜,透射电子显微镜,X射线衍射和选区电子衍射来确定。人们发现,片和板状的晶体在不同方向上生长的衬底不同的氨气浓度和底物。

单晶层被外延生长和蓝宝石基板在一个开放式系统管由金属蒸气与非金属氢化物气体的反应。各种因素进行了探讨,发现其影响外延生长。这些蒸气的组合物和生长温度控制化学计量和多态性的作用,并且基板材料,特别强调在衬底和外延层之间的晶格和热膨胀匹配的影响的选择。外延生长层的高结晶质量通过存在于它们的电子衍射花样的菊池线。作为土生土长式和式的层,这两个不掺杂以及掺杂,分别为高电阻率,而方程式被容易地生长n型。这些外延层显示出在室温下具有明亮,可见阴极发光,并且对于每个化合物不同发光颜色进行观察在不同温度下生长的试样。


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