钼靶材焊接方法
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- 分类：钼的知识
- 发布于 2017年3月02日
- 作者：qiongzhen
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一种钼靶材焊接方法，包括以下几个方面：
1） 提供钼或钼合金靶材、背板和焊料；
2） 对钼或钼合金靶材的结合面进行镀镍处理；
3） 对所述钼或钼合金靶材进行预热，使焊料分布在所述钼或钼合金靶材的结合面；
4） 对所述背板进行预热，使焊料分布在所述背板的结合面；
5） 使所述钼或钼合金靶材的结合面与所述背板的结合面贴合并进行焊接，形成靶材组件；
6） 冷却靶材组件。
根据该项钼靶材焊接方法，可以使钼或钼合金靶材与背板、尤其是铜背板以较高的强度结合在一起，满足溅射工艺的高强度要求。而且，即使在靶材面积较大的情况下，也能够有效地抑制靶材组件、特别是钼或钼合金靶材发生较大的变形、翘曲等。
钼管靶材
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