一种钼合金靶材的制作方法
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- 分类：钼的知识
- 发布于 2017年3月02日
- 作者：qiongzhen
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钼合金靶材，成本低廉，主要应用于平板显示器等领域。介绍一种钼合金靶材的制作方法，其特征在于使用金属钼粉与其它金属粉通过机械合金化的方式获得合金粉体，合金粉体后处理，即得。具体包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉装入模具中混合，其中按重量计Mo粉：Nb粉=5～15：85～95，然后将模具放入烧结炉中升温至900～1100℃，保温60～180分钟，然后升温至1900～2200℃，保温60～180分钟，升温过程中通入氢气进行保护，在升温的同时开始加压，压力为1～3吨，当温度到达1850～2000℃时，升压到4～7吨，在2000～2200℃时保压4～7吨，直到保温结束，保温结束后降温降压，然后出炉脱模即得钼铌合金靶材。
钼合金靶材
钼-铌合金靶材
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