通过界面空洞的自我分离一个厚的氮化铝层从蓝宝石衬底上通过蓝宝石的分解
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年2月12日
- 作者：Cloudy
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一种技术用于分离氢化物气相外延（HVPE ）在蓝宝石衬底上生长的厚氮化铝层的开发。通过在1450 ℃下在含有氢
气和氨气的气体流热处理，许多空隙可以形成于在1065 ℃下生长的薄（100nm）的氮化铝层和蓝宝石衬底之间的界面处，由于蓝宝石的优先分解。在一个厚（85微米）的氮化铝层，从与所述界面空隙的援助的蓝宝石衬底分离的厚的AlN层的随后生长之后的冷却过程。这样获得的独立的AlN基板具有光滑的表面，为1.1的位错密度×109厘米2 ，而对于波长高于208.1纳米的透光性。
氮化铝层的生长温度是在金属有机气相外延（MOVPE ）生长的最重要的因素之一。使用高温MOVPE系统的氮化铝层生长。结晶质量的X-射线衍射，原子力显微镜（AFM） ，透射电子显微镜（TEM）测量的基础上进行讨论。在1400 ℃的温度下生长的样品在一半最大值和AFM根均方粗糙度具有大为改善的结晶质量的X射线摇摆曲线全宽度方面。此外，根据TEM分析，造成小角度晶界刃型位错是低生长温度下占主导地位，而这些混乱成了随生长温度要少得多。
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