通过蓝宝石衬底的氧自由基预处理O型极性氧化锌外延薄膜的控制生长
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月21日
- 作者：Cloudy
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氧自由基生长前处理和表面氮化被用来消除锌极性反向域和由射频等离子体辅助分子束外延控制单域O型极性的氧
化锌膜的生长在蓝宝石衬底上。发现之前氮化形成氧终止蓝宝石表面是在随后的氮化铝和氧化锌层实现阴离子极性至关重要的，具体表现为氧化锌的增长和易地极性测定过程中形成3×3的表面重建。该方法中，在一般情况下，可以应用到其它极性膜，如II-VI族的氧化物和第III-V氮化物，在蓝宝石衬底上生长的影响。
高质量的氧化锌薄膜已被生长在蓝宝石衬底上的原子层外延用二乙基锌（ALE）方法（生长源）和水分子作为反应气体，在170衬底温度和400℃。为了研究退火处理对氧化锌薄膜的光学特性的影响，薄膜已经被退火的沉积后的各种退火温度。退火处理后氧化锌薄膜的光学性能进行了表征光致发光（PL）。与在可见区域中的弱缺陷带发射甲强自由激子发射，观察在室温（RT）。全宽的67.54兆电子伏的自由激子发射的半最大值（FWHM）测量已在室温下。基于该PL光谱在室温的温度范围从10 K的温度依赖性，已经表明，薄膜的结晶质量会随着退火温度的增加而增加。此外它表明，当样品被沉积在170℃下退火，在1000℃下获得最佳结果。
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