外延铝掺杂氧化锌薄膜对蓝宝石基板取向的影响

 
 

外延薄膜的铝掺杂氧化锌已经生长在蓝宝石衬底上用脉冲激光烧蚀。衬底温度,氧的背景压力,和衬底取向蓝宝石衬底(A,M,R,C)上的氧化锌和蓝宝石之间的取向关系的影响已经使用上和离轴X射线衍射法进行评价。在所有氧化物生长条件锌,在A和C面蓝宝石,增长与c轴垂直于基片。与此相反,在蓝宝石上的M和R取向的氧化锌生长而其C-轴平行或垂直于衬底取决于衬底温度和生长过程中所用的背景压力。在所有情况下,只有一个唯一的面蓝宝石衬底和氧化锌膜之间的关系被发现具有高的衬底温度异常的M-面的。

外延氧化锌膜的光学特性进行了研究,在光谱区为1.5至使用四区域空椭圆偏振光谱法5.4电子伏特。根据附近的直接带隙激子结构的现有模型的介电功能已经通过包括高能量吸收时期提高。表面层中,对应于该表面的粗糙度,被认为是适合得到的数据必不可少的。两种样品进行了研究:在制备取向的蓝宝石衬底上的氧化锌层。的首当其冲的表面被认为是更粗糙。


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