在蓝宝石基板上薄的保护的氮化铝层的在1065 ℃下的氮化铝的1300℃以上氢化物气相外延生长
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2013年12月11日
- 作者：Cloudy
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一层薄薄的保护氮化铝层是由氢化物气相外延（HVPE）生长在1065°C蓝宝石衬底的高温主要氮化铝层生长
（>1300℃）。外延氮化铝层，直接在1320℃下在蓝宝石衬底上生长的表面上的表面凹坑的形成，可以通过生长在保护层来防止。的全宽度半最大值的X-射线衍射（XRD）（FWHM）摆动的非对称曲线（10方程图像0）和对称（0002）的AlN下降至19.8和9.6分钟，分别。中在1320℃下生长的层的氧杂质浓度也从3×1019减少到4×18 cm -3以上通过保护蓝宝石衬底在1065℃下
外延薄膜的铝掺杂氧化锌已经生长在蓝宝石衬底上用脉冲激光烧蚀。衬底温度，氧的背景压力，和衬底取向（A，M，R，C）上的ZnO和蓝宝石之间的取向关系的影响已经使用上和离轴X射线衍射法进行评价。在所有氧化物生长条件锌，在A和C面蓝宝石，增长与c轴垂直于基片。与此相反，在蓝宝石上的M和R取向的ZnO生长而其C-轴平行或垂直于衬底取决于衬底温度和生长过程中所用的背景压力。在所有情况下，只有一个唯一的面蓝宝石衬底和氧化锌膜之间的关系被发现具有高的衬底温度异常的M-面的。
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