蓝宝石长晶炉的真空系统构造
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2013年11月21日
- 作者：Cloudy
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实用新型涉及蓝宝石石长晶炉的真空系统，其中包括一个负压管，真空管线连接到吾人蓝宝石长晶炉。通过分子泵
超过6个复合分子泵8的下端的真空管被连接到接手六分子泵之间设置的旋转挡板阀，超过6个分子泵和化合物分子泵。通过卡钳固定螺钉所述真空管线，所述化合物分子泵被连接到真空的下端排气出口管的真空排气导管上设置有第一电磁阀的出口，所述第一电磁阀后真空出口管的真空排气的排气管连接的I支路管线，在排气旁通管道3之间设置有一第二电磁阀。
真空通道和接口上安装的各种仪器中，用于打开和关闭旁通排气的排气第3行，第3行第2电磁阀绕过真空系统的初始操作是蓝宝石晶体生长炉预抽真空，真空度达到一定程度之前，开放的复杂分子泵，用于打开和关闭的抽真空系统，四个小的旋转挡板阀的旋转挡板阀，整体而言可以进入壳体，增加分子泵的整体美感超过六固定旋转插板阀4和复合分子泵，从接口过渡的作用。的复合分子泵8为提高真空泵的容量，额定的工作真空度要求。真空出口管连接的真空系统和真空泵抽真空。
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