蓝宝石晶体生长炉的真空系统
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2013年11月20日
- 作者：Cloudy
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蓝宝石晶体生长炉的真空系统，真空系统包括真空连接到蓝宝石晶体生长炉体内的管道。其特征在于：真空的管道
的下端通过分子泵的连接管连接的化合物分子泵，一个旋转型闸门阀被配置在真空管道和分子泵的连接管之间的化合物。分子泵的下端连接有一个真空出口的排气管道的第一电磁阀被布置在真空出口空气的排气管道的排气旁通管道之间连接有真空出口空气的排气管道和真空管道，其被布置后面的第一电磁阀以及被布置在排气旁通管道的第二电磁阀。的真空系统的优点是，可以确保蓝宝石晶体生长炉系统的稳定运行。
蓝宝石丹泾炉真空系统包括真空通道中，真空通道被连接到所述蓝宝石丹泾炉体。其特征在于，所述真空通道通过分子泵管的下端被连接到多路复用分子泵，真空通道和分子泵管的设置阀之间的旋转门，复合分子泵的出口连接到真空吸管，真空排气出口管上设置有第一电磁阀，真空出口的排气管和真空线后面的第1电磁阀之间连接有排气旁通管，排气旁通管道的第2电磁阀有设置。
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