INAS-A有源电力滤波器在蓝宝石长晶炉中成功应用

长晶炉电源采用三相桥式全控整流电路将交流电整流为直流电,经电抗器平波后,成为一个恒定的直流电流源,再经单相逆变桥,把直流电流逆变成7KHz左右的单相中频电流。负载由感应线圈和补偿电容器组成,连接成并联谐振电路为电感性加热炉。在生产过程中产生大量谐波电流,主要为2、4、5、7、8次谐波,其中2次谐波约占70%。调功率系统的电流有效值和谐波含量也会有相应的变化在电流为60A时,电压畸变率为7.9%,电流谐波畸变率为110%;在电流为150A时,电流谐波畸变率为76%。电流谐 波在60A~120A左右。炉投入了一台英纳仕电气iNAS-A-150A--03-380的有源电力滤波器进行谐波治理后,电压畸变率下降到2.8%, 电流畸变率下降到3.9%。

iNAS-A的投入使用大幅改善了长晶炉的电能质量,提高了电源的稳定性,改善了晶体的成品率,同时保护了设备正常运行。在iNAS-A投入前,只能同时开启3台长晶炉,iNAS-A投入后,可以同时开启所有长晶炉。

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