改进衬底蓝宝石晶体炉生产技术 投放市场
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2013年3月20日
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LED 衬底蓝宝石晶体生长炉市场一直为国外厂商，如俄罗斯monocrystal、美国TT、韩国stc所垄断。设备价格高、交货期长、操作难度大等问题，一直制约着国内LED蓝宝石衬底企业的发展，市场急需国产设备填补行业空白，即使在短时间内国产设备并不能被市场所大面积接受，但对国外设备高昂的价格也会起到一定的抑制作用。据晶蓝地光电科技有限公司(以下简称“晶蓝地”)总工程师徐家庆表示，在设备出货价方面，国产设备几乎比国外低20-30%左右。
据高工LED研究所数据显示，目前蓝宝石衬底规划产能已经过剩，而国内蓝宝石长晶项目投产已经趋于理性，这显然与目前长晶炉设备的高涨的研发热情不相匹配。
自2011年开始，国内至少已经有超过十家企业投入到对长晶炉设备的研发当中，部分厂商已经小批量出货或量产，但整体盈利情况并不太理想。
采用泡生法的生长炉占据很大市场份额。晶蓝地之所以选择泡生法是看重其技术的稳定性，相对于其他方法而言，泡生法生长出来的晶体杂质少、位错密度低(<1000cm2)，散射颗粒和气泡比较少，晶体应力小从而在后续掏棒、切、磨、抛等加工过程中不易开裂，成品晶元平整度好。另外泡生法 适合超大尺寸蓝宝石晶体的生长，因而能够满足LED衬底大型化的发展需求。
在炉体的设计上，晶蓝地做出了一定的改进。蓝宝石生长炉的关键技术主要集中在热场设计上。由于蓝宝石生长属于定凝固点单向生长，坩埚内熔体的温度分布从上到下必须满足一定的温度梯度才能生长出较为理想的蓝宝石晶体。蓝宝石的凝固点超过2000度，且生产必须在高真空情况下完成。加上坩埚在不同高度温度不同，所以很难通过直接的实时监控、多点测量的方法设计温度场。晶蓝地公司在热场设计上，综合考虑加热体、热防护、坩埚座、籽晶热交换器等几方面热场构成要素的影响，通过计算机热场模拟、理论计算、经验和试验相结合，精确设计温度梯度。
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