蓝宝石晶圆上的禁区
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年2月18日
- 作者：Cloudy
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什么叫做蓝宝石晶圆上的禁区？在磊晶，LED材料不正确形成在这一领域，这意味着这些芯片应该不会被计算，因
为它们不会产生良好的发光二极管。对于我们的LED芯片的计算器，我们使用的是业界标准的3毫米禁区，这是显示为红筹所示。需要注意的是在晶圆的极端边缘的芯片 - 这实际上是挂在晶圆如果他们全矩形 - 不会在所有被计算为我们的模拟。
隔离区中的一个重要特征是，它是3毫米的边缘，无论晶片的直径。这个事实意味着，在大直径晶片具有更大的隔离区的区域。然而，由于总晶片表面面积的百分比，大的晶片具有其区域中排除区的比例较小。
所以，可以看到一个6英寸晶圆，有9 ×多毛的表面面积实际上已超过9 ×更多的净面积（建筑面积减去隔离区） 。优势的结果6合晶片具有10.3×更多的净面积，并且具有18.8×以上，既8中的晶片相比， 2 - 在晶片上。
也有考虑到LED的矩形覆盖，它们不完全适合于晶圆的圆形 - 一些LED将通过部分过境进入禁区丢失。以类似的方式来隔离区，这些损失的合计为较小的晶片的比例更高。最后一个优点是显示在图表中所示的。 3 ，是基于45X45密耳（千分之一英寸）的LED，包括芯片之间的空间。其结果是略高的收益在芯片数量与面积相比 - 10.9 ×为6英寸和19.8 ×为8英寸晶圆。
在这一点上，已经看到，相对于一个2英寸晶圆6的直径晶圆实际持有比经常引用的9 ×更多的LED芯片稍多。但现在我们必须考虑到，发光二极管生长在晶片组中的MOCVD反应器。
在LED外延工艺是所有进入的SSL产品的最终输送的步骤中最昂贵和费时之一。的输入是一组晶片，并且输出的是数以千计的这些晶片的LED。我们追求的回答是如何切换到大直径将改变外延工艺后的LED数量。当然，收益率 - 那正常芯片的措施 - 也很重要，但我们会看看这以后。
已经说过，不应该期望计数芯片你外延后得到了9倍跳，现在我们就会明白为什么。其中最主要的原因是，那么多的小直径的晶圆可以容纳在反应室。在一个典型的MOCVD反应器的配置， 56 2中的晶片可以被加载。在同一反应器中只有8 6 - 在晶片将适合。这是7:1支持一个小直径的比率。
所以，简单地甚至在最后的计数突破，每6晶圆需要保持7 ×更多的LED芯片比单2 - 晶圆。但是已经看到，一个6-晶圆几乎11 ×更多的LED芯片。把在其他方面， 55 ％的6 -in配置结果更多的LED芯片（ 1.55倍）。这是我们一直在寻找最终的真正优势。虽然这是比9× （ 900 ％）的数字，我们开始要少得多，它仍然是在LED芯片你的时间和金钱用于MOCVD运行成本相同数量非常显著改善。您可以为小型和大直径硅片及彼等各自的筹码比较典型的MOCVD的布局。
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