R面蓝宝石衬底上的氧化锌薄膜通过常压化学气相沉积法的生长
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2014年1月08日
- 作者：Cloudy
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氧化锌薄膜已经被生长在R面蓝宝石衬底上通过常压化学气相沉积法（AP -CVD法）用锌粉和水为原料。变化增长率
为衬底温度的函数可以被分为三个区域：再蒸发区域，质量传递控制的区域，和表面控制的区域。扫描型电子显微镜观察，发现该薄膜的表面形态是不仅取决于衬底温度，还取决于锌源和水源的温度。大多数膜的X射线衍射图呈显性峰，说明高A轴取向生长。没有混合域单晶A-平面氧化锌薄膜已成功通过优化生长条件生长。从橙红色发射可见光区域的光致发光变为蓝绿色发射系统通过调节锌源和水源的温度。这一结果表明在我们的AP- CVD系统控制缺陷的可能性。对于在TS = 700 °C的质量传输控制区域生长的薄膜，电阻率从0.45下降到0.007 Ω厘米为TH2O从54惜售到75 ° C。
垂直排列的氧化锌都使用无催化剂纳米粒子辅助脉冲激光烧蚀沉积（ NAPLD ）已成功地生长在退火蓝宝石基板在相对高的气体压力。在氧化锌的生长行为进行了研究的消融时间，这是我们命名“孤立粒子开始生长'和3步生长机制的氧化锌变化被提出。SEM分析显示，每一个独特形状的氧化锌的由一个所谓的六角棒状“根”和一个略微锥形“干”的。阱对准的氧化锌表现出很强的紫外（UV）辐射在室温下在周围390 nm和只有微不足道的可见光发射，这表明有一个非常低的高度取向的氧化锌氧空位浓度在蓝宝石衬底作为合成阵列可以提供为基础研究和技术应用的新机会。
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