通过在玻璃和蓝宝石衬底锌金属的热氧化生长的氧化锌紫外探测器

 
 

已经调查多晶氧化锌生长在玻璃和c-平面蓝宝石衬底上薄膜的光学和结构特性。其中在室温下与空气中的随后的热蓝宝石衬底退火温度为300℃和600 ℃下通过直流溅射沉积生长在玻璃和蓝宝石衬底的锌金属膜X-射线衍射谱表明,在退火后,所得到的氧化锌薄膜具有多晶纤锌矿结构没有择优取向。室温光致发光( PL)光谱表明,在退火300℃薄膜具有最强的紫外线(UV )辐射强度和最低的深层次的排放。增加深层次的绿色发光,观察随退火温度为生长在玻璃衬底片,和一个红移的激子紫外波段观察到生长在蓝宝石衬底片。基于氧化锌的金属 - 半导体 - 金属(MSM)的UV光电探测器,其中通过对所得到的氧化锌薄膜的铝欧姆接触溅射淀积制造。减小光电流被看作用于提高退火温度,这是用PL研究是一致的。

在这项工作中的氮化镓上各种图案的基板高压溶液生长的结果,图案上的氮化镓平行条纹和条纹之间SixNy和钼口罩的氮化镓 /蓝宝石衬底上生长进行了研究和分析。结果与图案衬底上生长没有任何遮罩,从而与条纹之间的裸蓝宝石相比。钨和铱为掩蔽的有用性也被确定。该HVPE自由站立氮化镓衬底的高条纹,达到10毫米,被检查的详细信息。条纹生长方式示出和描述。


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