从形状的元件的圆顶蓝宝石的生长过程中裂纹的产生和避免

失效机理提出为了蓝宝石圆顶从形状的元件在生长过程中,解释裂纹的产生和传播。根据这个模型, 10微米的气泡蓝宝石衬底膨胀引起的滑移位错(奥罗万的型号) ,最多为其裂纹发起的临界尺寸。讲的生长过程的数值模拟解释了裂纹如何传播第一垂直(V型裂纹)然后水平(H型裂纹) 。基于塑性应变弛豫甲判据,以确定生长参数(牵引和旋转速度)与所测量的温度梯度在晶体中的函数定义。这导致了无裂纹的蓝宝石半球达50毫米的直径,可用于红外球坯的生长。

使用三氯化铝和氨气作为在温度范围从950到1100℃的源气体的氮化铝的蓝宝石衬底上通过氢化物气相外延(HVPE )生长进行了研究结果发现,全宽在X射线衍射(XRD)的半最大值(FWHM)值摇摆的,并查看了c轴取向的氮化铝层的MATHML源面随生长温度的下降曲线。氮化铝层呈现出镜面般的表面可以生长在1100℃下为1.7微米/小时的生长速度。生长率,发现增加而增加三氯化铝的输入分压,并与三氯化铝注射喷嘴的端部和所述蓝宝石衬底之间的距离减小(L)。增速达到122微米/小时, 2.0× 10-3大气压的氯化铝输入分压和查看MATHML源,但结晶质量变差,当增长率上升超过10微米/小时。


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