氧化钛对r面蓝宝石金属有机分子束外延生长模式
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- 分类:蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2013年12月12日
- 作者:Cloudy
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纯外延金红石氧化钛薄膜生长在蓝宝石衬底上则采用金属有机分子束外延与四异丙氧基钛为钛源485和725℃之间的温度。生长模式和速率进行了调查作为衬底温度的利用反射高能电子衍射, X-射线反射率,原子力显微镜和透射电子显微镜的功能。增长率分别高达125海里/小时。从射频等离子体源提供额外的氧的影响进行了研究。没有氧气等离子体,增速表现出反应和磁通限定制度和观察到薄膜生长的初始阶段,层 - 层生长。用氧等离子体的增长速度成为与温度无关;电影在台阶流动模式开始增长,并绝缘。对于不同的生长模式为膜厚度,温度和氧的存在的功能的机制进行了讨论。
显示控制原位掺杂单晶金属氧化物纳米线,用铟掺杂的锡氧化物(In - SnO 2)等作为一个例子,在异质外延生长过程。在 - 的SnO2纳米线非常规则的高密度阵列,这表明三和四重对称性的增长,直接在光学蓝宝石衬底获得的。类似的合成策略,涉及谨慎选择所需的生长条件和智能操控良好的热力学特性,可以扩展到生产各种掺杂金属氧化物纳米线。
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