氮化铝薄膜形貌和表面声波测量的蓝宝石
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2013年12月09日
- 作者：Cloudy
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铝氮化物外延膜已生长于R-平面蓝宝石衬底上，并研究其压电性能，适用于声表面波器件中的应用。此报告该膜是
由三甲基铝与氨气在氢气的存在下反应涉及到使用生长作为生长炉气体注入系统在化学气相沉积工艺中，约1200 ℃的温度下，提高了epireactor的表示该气体流动到衬底上，在500埃/分的生长率来实现的厚度为10微米的薄膜产生的表现出优异的机械和化学稳定性。 R面， Al和O和重复O型的Al- O键， Al-O键键由交替蓝宝石层。
在原子的两个不同的层，铝原子的密排结构，和氧原子被对准到柱方向。的含Al和N原子的密排面的AlN六方纤锌矿结构的方向，但共面分隔成列对齐。时（即，在相同方向上与AlN点C的蓝宝石的c轴方向的投影，得到既在R平面的良好贴合面的取向轴） ，并给出了蓝宝石和AlN线原子的列方向沿着穿过晶格失配的方向2.7%、11.9% 。
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