单壁碳纳米管上的铁薄膜包衣蓝宝石衬底化学汽相沉积
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- 分类：蓝宝石长晶炉-钼制品新闻
- 发布于 2013年12月03日
- 作者：Cloudy
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报告的单壁碳纳米管（单壁碳纳米管）上涂覆有薄的Fe膜的蓝宝石衬底化学汽相沉积（CVD） 。单壁碳纳米管生长
在蓝宝石衬底的晶体面取向的依赖性，即定义为A- ，R-和C-面，进行了调查。它被发现时，在800 ℃下进行化学气相沉积，单壁碳纳米管的最大数量是生产的A面衬底，其次是R-和C面基板上。这个结果暗示了单壁碳纳米管生长可以通过选择蓝宝石衬底的取向进行控制。
A1N对图案化蓝宝石基板的增长进行了研究，深槽皆由激光诱导背面湿式蚀刻技术在蓝宝石衬底上制成。 KrF准分子激光照射在蓝宝石和phenolphthalein/N-methyl-2-pyrrolidone溶液，它作为一种超热液体之间的界面。蓝宝石的蚀刻率也高达6微米/分钟为1.0 J/cm2的激光功率。的A1N层生长用化学汽相反应方法在1190 ℃下进行1小时的图案化蓝宝石基板上。在刻蚀槽的倾斜侧壁，AlN垂直于侧壁生长，其c轴。这产生了其中约20 °倾斜，以蓝宝石的基面的m面的表面。 m面A1N域的线位错密度为8 ×108cm2 。
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