氮化鎵基在藍寶石基板厚度上LED性能的影響
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：27 二月 2014
- 作者 Cloudy
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准備在藍寶石基板上具有不同厚度的氮化鎵基發光二極管（LED）被制備並表征。通過減薄藍寶石基板至50μm，人
們發現，我們就可以實現高電流注入下一個較大的輸出功率，而不增加工作電壓。壽命試驗也表明，在制備薄藍寶石基板的LED是更可靠。
在異質外延生長的過程中，如果生長膜的晶格常數不同於基板，晶片表面弓，無論的晶格失配是否發生。如在大型晶片的生長加快，彎曲效應變得越來越重要。晶圓彎曲對產量的現代大規模生產化合物半導體產業有直接影響。通過使用有限元分析軟件，在氮化鎵晶片的藍寶石襯底上的彎曲變形進行研究。本文總結鞠躬變形的原因，建立了數學模型，並推導出晶圓彎曲的關系式。結果表明，外延晶片彎曲具有與襯底的直徑的平方成線性關系，但與該基板的厚度的關系不大。此外，晶圓彎曲的關系式也被簡化終於。
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