通過熱化學氮化方法制得的改性的氮化鋁/藍寶石基板的表面的形態
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：27 二月 2014
- 作者 Cloudy
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在藍寶石襯底上進行了直徑50.8毫米與晶體取向和3-9的偏差角“的研究，在襯底表面進行化學機械拋光。基材退火
在1450 °С 。用於降低退火那裏被用於氬氣、一氧化碳、氫氣氣體（ 0.1 - 0.12MPa，氬氣和氮氣的濃度分別為〜 99vol ％，〜0.1 - 0.4vol ％）的混合物。氮化實現了在氮氣中、一氧化碳、氫氣氣體（ 0.1 - 0.12MPa ， 〜 N2的99vol ％濃度的混合物。
表面形貌的影響在原子力顯微鏡求解47臨（ NT-MDT ）在接觸模式。經過化學機械拋光襯底的初始表面具有表面臺階和步驟，本步驟的寬度30和140nm的範圍之間。這樣的納米結構外行可以在傾斜的低角度晶面形成的極為光滑的藍寶石表面，粗糙度為0.2 - 0.4奈米。
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