PSS圖形化藍寶石晶圓基板技術

 
 

近年來LED市場高速成長,主要因為隨著高亮度與高效率的LED產品問世,LED的應用日漸普及,從手機的LED應藍寶石基板用,汽車的燈源、交通號志、戶外大型監視器等都有應用實例。為符合LED應用多元化的需求,追求更高LED亮度是技術發展的重要趨勢。PSS技術是在藍寶石基板上做出一些圖形,主要的目的是希望能夠幫助LED廠商讓其所生產的LED商品,達成更高亮度的目標。

PSS技術是藉由MEMS制程,在藍寶石基板上雕刻出圖形,經過基板上的圖形,可以產生光線折射效果,如此便可將LED的亮度有效放大。過去LED廠商其采用的基板由於沒有加入圖形化制程,因此沒有辦法達到折射功效,一旦采用PSS的基板後,其亮度有機會較原先增加20~50%。

此技術在2009年開始成熟,中國砂輪也開始投入此技術,而圖形化基板技術的作法上,以前是用濕蝕刻制程進行,但做出的圖形較不漂亮,以致無法達到發光效率的要求。後來改用幹蝕刻的做法,不但可縮短時間及成本,發光效率更好。透過PSS做高功率的LED晶粒時,以前需要好幾顆才能達成的亮度,現在只要1顆即可,可以有效降低成本,希望在明後年的照明市場中,能因成本降低達成普及化,刺激市場需求。

此外,在光學鏡片的制程技術上,中國砂輪透過Wafer Level g Lens晶圓級可回焊鑄造鏡片技術,不但縮短相機模組實裝工程的時間,且降低成本及厚度。目前市面上所制作的Wafer Level Lens多為混合式(Hybrid)之樹酯加上玻璃基板,缺點在於制作結構複雜,導致光學設計及制作困難,且會增加厚度。中國砂輪采用Casting制作出結構簡單,且厚度較薄的鏡片,成為其產品技術的優勢。應用範圍廣從手機、筆電、遊戲機、監視器、行車記錄器、微型投影機、LED、硬碟讀取頭、醫療或工業用內視鏡等。

為了降低積體電路(IC)的制造成本,全球主要半導體公司如Intel、TSMC、及Samsung,共同合作在Sematech發展450mm晶圓的制造技術,預期在2015年進行量產。其中化學機械平坦化(CMP)將是生產的瓶頸之一,然而宋健民博士首創超音波CMP,可以大幅降低拋光晶圓的接觸應力。這種新技術,不僅提高了CMP的效率,也減少了IC晶圓的缺陷。


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