微藍寶石晶圓的LED生產用皮秒激光器

 
 
 
 

高強度,藍色發光二極管(LED )被發現使用在快速增長的應用範圍,包括顯示器背光的手持設備和平板電視,汽LED車前照燈和通用照明應用。為支持市場進一步增長, LED廠商都在努力提高設備輸出效率,降低生產成本。這些努力中的一個特定的焦點是在單片化的區域中,也就是說,切割含有許多LED成單個器件的晶片的方法。傳統上,這已被使用基於Q-開關,二極管泵浦固態(DPSS )激光器或機械方法或激光消融來實現。

但是,這兩種方法都有局限性,特別是對於高亮度,高價值的LED。現在,工業激光器超快(皮秒)的脈寬的發展是有利的通過創建內部修改,隨後使基片被分離的新型單片化的。雖然專利已被授予內部修改幾家公司,此外一個成本有效的詳情、可靠性高皮秒激光源稱為Talisker,這是非常適合這種下一代內部修改切割應用。


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