在使用拉曼光譜對藍寶石襯底矽薄膜測定現有的壓力
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：10 二月 2014
- 作者 Cloudy
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拉曼光譜是用來確定在藍寶石上矽（SOS）設備內置的應力。該方法是直接的，非破壞性的，並且可以在各種溫度
下被應用。對於在藍寶石襯底上外延矽膜的內置的7.0 ±0.3千巴的壓力在室溫和8.7 ±0.3千巴在液氮溫度下測定。
低溫生長的氮化鎵 （LT- 氮化鎵）的在矽襯底通過使用兩步生長法的熱退火的效果。當LT-氮化鎵薄膜進行退火達1050℃對矽襯底的溫度遇到困難;然而，在低溫氮化鎵在藍寶石是相同的退火條件後保持穩定。觀察LT-氮化鎵構成的分解和波狀表面。因此，在矽LT-氮化鎵構成的熱穩定性比在藍寶石下部。為了改善這種低的熱穩定性，在矽低溫氮化鎵塗用中溫生長的氮化鎵（MT- 氮化鎵）的。然而，腫脹，觀察表面上的退火至1050℃的溫度後，並有空洞，這表明矽的腐蝕發生以下矽的熔點的溫度下，腫脹。能量色散X射線（EDX）分析表明，在腫脹檢測大量的鎵。鎵是負責矽襯底和可能的原因為空洞的形成是矽由佐治亞州的回熔蝕刻的腐蝕。
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