在藍寶石襯底上高品質的鈮酸鋰薄膜的脈沖激光沉積
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：28 一月 2014
- 作者 Cloudy
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高質量的鈮酸鋰薄膜是由脈沖激光沉積法沉積到R-切割藍寶石襯底（α- Al2O3）的。以穩定的單相鈮酸鋰，相對高
的氧氣分壓是必要的。這些膜制造在1乇的氧氣壓力的X-射線衍射的結果，顯示出從鈮酸鋰只峰。氧分壓或增加的環境氣體中的氬氣的降低導致形成中介相。襯底溫度高於650℃，未對薄膜質量有顯著作用。上下的多種腔室壓力的澱積薄膜的光學測量表明折射2.28的指數，對應於散裝鈮酸鋰的理想值。
已經形成外延鈮酸鋰薄膜在藍寶石基板上，並使用激光消融技術。已經制作表面聲波（ SAW）濾波器上的薄膜和評價聲表面波性能。它表明，該鈮酸鋰晶體薄膜的藍寶石襯底是因為它們的傳播速度高（ 5300 - 5600米/秒）的候選者的高頻SAW濾波器。
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