氮化鎵薄膜沉積在藍寶石襯底的物理性質的比較

 
 

氮化鎵薄膜的物理性能的直接比較是由作為基體取向的選擇的功能。氮化鎵單晶通過金屬有機化學氣相沉積生長在藍寶石襯底藍寶石襯底上。獲得在藍寶石更好的結晶度與細方面。同時,低載流子濃度和遷移率越高表明兩者較低的氮空位,少氧結合的藍寶石。本研究的結果表明,實現了在藍寶石上的氮化鎵薄膜的較好的物理性能。

氮化鎵層生長在C- , A- , R-和M-面藍寶石襯底上氣態源分子束外延(MBE ) 。氮化鎵的c軸垂直於表面平面和光致發光光譜顯示出強而尖銳的(全寬半高≤ 39毫電子伏特在77 K )激子發射沒有適用於所有情況的深能級發射。生長在石英玻璃襯底的氮化鎵層也具有c軸垂直於表面,盡管它們是多晶。它們表現出n-型導電帶的7× 10-16厘米3和流動性的23平方厘米/ V ·s的電子濃度。他們還表現出強烈的光致發光媲美的氮化鎵生長在藍寶石襯底上,雖然呈現出很寬的光譜半寬( 245兆電子伏在77 K ) 。生長在玻璃襯底上的氮化鎵層被認為是有前途的大面積和低成本的發光器件和太陽能電池的制造。


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