半絕緣氮化鎵金屬有機物化學氣相沉積生長氮化鋁緩沖/藍寶石襯底的研究
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：26 一月 2014
- 作者 Cloudy
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半絕緣氮化鎵上的氮化鋁緩沖層，其沉積在藍寶石基板上的顯著改善的晶體質量由金屬有機化學氣相沉積生長。電
特性和結構特性的特征是暗電流 - 電壓傳輸線模型和X-射線衍射測量。可以發現，在氮化鎵外延層的晶體質量，強烈的降低溫度氮化鎵中間層的生長溫度相關。與在藍寶石上生長的正常的氮化鎵相比，結晶品質顯著地隨著半絕緣的電性質得到改善。基於所述半絕緣氮化鎵上的高遷移率的場效應晶體管器件顯示出良好的夾斷特性。氮化鎵構成直接在氮化鋁緩沖生長我們的電氣測量結果表明，如生長，未摻雜的氮化鎵自然是半絕緣性的材料。剩餘的捐助者在藍寶石襯底上的氮化鎵正常生長的起源進行了討論。
高品質的薄氮化鎵層具有原子級平坦的表面已經成功地生長在由金屬有機物汽相外延精確的偏移角受控的藍寶石襯底，底層的氮化鋁層和氮化鎵層之間的氮化鋁鎵層的插入被認為提高上部氮化鎵層的結晶質量。
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