緩沖層上的高質量的單晶氮化鎵組成比藍寶石襯底上沉積的影響
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：24 一月 2014
- 作者 Cloudy
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最近幾個研究小組都報道了極高品質的單晶氮化鎵層在藍寶石襯底上沉積，一鍵使其獲得高質量的是使用藍寶石襯
底和生長膜之間的薄的氮化鋁或者氮化鎵緩沖層的。在這種通信中，我們討論了結晶度和緩沖層中控制結晶的，光學的，和在氮化鎵沉積的電性能的影響。我們還比較了使用氮化鎵和氮化鋁的作為緩沖層的材料。我們的結果表明，該緩沖層的厚度和膜的總厚度是關鍵因素，控制所述的氮化鎵沉積過藍寶石基片的電學，光學和結晶性質。
在藍寶石襯底摻雜氮化鎵外延層的表面變形，研究了尖銳的鑽石（的Berkovich三角錐）的納米壓痕和5微米半徑的球放倒鑽石。我們發現了一個“彈出式”的所有樣品的荷載 - 位移曲線的負荷下部分，而平均剪切應力是依賴於膜厚度。我們還計算出在藍寶石襯底“真硬度” 氮化鎵構成，並用InGaN構成藍寶石上的結果進行比較。
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