氮化鎵薄膜從藍寶石襯底上無損傷分離
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：14 一月 2014
- 作者 Cloudy
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生長在藍寶石襯底上的氮化鎵薄膜，成功地分離和使用單38納秒氟化氪受激准分子激光脈沖通過在能量密度的透明
基板在400〜600 mJ/cm2的範圍內定向轉移到矽襯底上。通過在氮化鎵的248納米輻射的界面處的吸收引起的界面層迅速熱分解，生成金屬鎵和氮氣氣體。基板容易被加熱至高於30℃的鎵的熔點除去掃描電子顯微鏡和氮化鎵膜之前和之後剝離的X-射線衍射表明，該氮化鎵薄膜的結構質量不被分離和轉移過程中改變。
首次使用氮化鎵緩沖層在藍寶石襯底上，得到高品質的氮化鎵薄膜。得到超過2英寸的藍寶石基片的光學平坦和光滑的表面。霍爾測量上生長有氮化鎵緩沖層的氮化鎵緩沖層的厚度的函數的氮化鎵薄膜進行。用於生長具有200埃，氮化鎵緩沖層的氮化鎵薄膜的載流子濃度和霍爾遷移率分別為4 × 1016/cm3和600平方厘米/ V ·s的，分別在室溫下進行。該值成為8 × 1015/cm3和1500平方厘米/ V· s的77 K，分別。霍爾遷移的這些值是迄今報道的氮化鎵薄膜的最高紀錄。霍爾測量表明，該氮化鎵緩沖層的最佳厚度是大約200埃。
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