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在藍寶石襯底上厚的氮化鎵薄膜使用氧化鋅緩沖層的生長

濺射的氧化鋅膜已被用作在氮化鎵的生長緩沖層由氫化VPE 。有了這些緩沖區，我們不僅提高了氮化鎵生長的重複性也可單獨通過蝕刻緩沖層實現了單晶氮化鎵薄膜的制備。

氧化鋅薄膜外延在500-800 ℃，襯底溫度下成長於c -藍寶石襯底上用脈沖激光沉積晶氧化鋅薄膜的結構遵循氧化鋅的外延關系| |氧化鋁氧化鋅 | |氧化鋁。室溫和低溫光致發光譜顯示出顯著的帶邊過渡，並明確激子結構可以看出在低溫下。光學折射率，通過改變角度橢圓偏振光譜法測量在375-900毫微米的範圍內。仿真進行了使用一個塞耳邁耶爾方程。


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