外延鋁摻雜氧化鋅薄膜對藍寶石基板取向的影響
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- 分類:藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於:15 一月 2014
- 作者 Cloudy
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外延薄膜的鋁摻雜氧化鋅已經生長在藍寶石襯底上用脈沖激光燒蝕。襯底溫度,氧的背景壓力,和襯底取向(A,M,R,C)上的氧化鋅和藍寶石之間的取向關系的影響已經使用上和離軸X射線衍射法進行評價。在所有氧化物生長條件鋅,在A和C面藍寶石,增長與c軸垂直於基片。與此相反,在藍寶石上的M和R取向的氧化鋅生長而其C-軸平行或垂直於襯底取決於襯底溫度和生長過程中所用的背景壓力。在所有情況下,只有一個唯一的面藍寶石襯底和氧化鋅膜之間的關系被發現具有高的襯底溫度異常的M-面的。
外延氧化鋅膜的光學特性進行了研究,在光譜區為1.5至使用四區域空橢圓偏振光譜法5.4電子伏特。根據附近的直接帶隙激子結構的現有模型的介電功能已經通過包括高能量吸收時期提高。表面層中,對應於該表面的粗糙度,被認為是適合得到的數據必不可少的。兩種樣品進行了研究:在制備取向的藍寶石襯底上的氧化鋅層。的首當其沖的表面被認為是更粗糙。
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