大尺寸藍寶石單晶直徑控制法生長了泡生法

 
 

為了獲得高質量的晶體,被要求在大尺寸藍寶石由泡生法。基於對晶體以控制熱場的重量單晶的生長過程中的精度大尺寸藍寶石單晶直徑恒定的控制方法,以及實現的直徑恒定的生長crystals.a廣義最小方差的在線調整多項式的權重原則的基礎( RAPW_GMV )控制方法引入,建立的系統。其主要思想模型是基於受控對象和RAPW_GMV輸出參數的在線估計,在線調整權值多項式,滿足熱場的控制和單晶.模擬器的直徑不斷增長和實驗結果表明,該控制方法實現的藍寶石單晶精密內徑恒定控制,有效提高藍寶石單晶的質量。

對用於生長藍寶石單晶中,內(壁到壁)和結晶內部(本體)上的生長過程中的特性,如溫度和流場,傳熱的結構輻射的影響的感應加熱提拉爐和數字使用二維准穩態有限元法晶體熔界面進行了研究。全局分析所獲得的結果表明溫度場,熱傳輸結構和晶體熔融接口的這兩種類型的生長爐內的輻射熱傳遞的一個很強的依賴性。


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